硅氟橡膠也稱硅氟橡膠FVMQ，是一種由硅氧鍵形成主鏈，而鍘鏈上含有三氟烷基的高聚物，它的聚合法辦法與二甲基硅橡膠類似，是用環(huán)狀硅氧烷開環(huán)聚合法制作的。
氟硅橡膠的耐熱性及耐藥性格不如其它氟橡膠，但由于其主鏈含有硅氧鍵，而側(cè)基上又含有氟原子，它兼有兩者的長處，因此可以在-60℃-200℃非常寬的溫度區(qū)域中運(yùn)用，且耐燃料油功能極好，對甲醇溶脹小，但缺點(diǎn)是物理機(jī)械功能比其它氟橡膠差。
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